短チャネル効果

3行要約

1. 半導体素子の微細化に伴い、ゲート長が短くなることで発生する様々な不具合の総称。
2. しきい値電圧の低下やリーク電流の増大を招き、デバイスの制御が困難になる。
3. 微細化の限界を規定する要因の一つであり、新たな構造や材料による対策が研究されている。